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GB/T 1551-2021硅單晶電阻率的測定 直排四探針法和直流兩探針法

發布時間: 2023-08-23 11:20:18 點擊: 518

GB/T 1551-2021硅單晶電阻率的測定 直排四探針法和直流兩探針法
GB/T 1551-2021《硅單晶電阻率的測定 直排四探針法和直流兩探針法》是一個標準,它規定了使用直排四探針法和直流兩探針法測定硅單晶電阻率的測試方法。

直排四探針法適用于測試電阻率為0.01Ω·cm到1000Ω·cm的硅單晶,而直流兩探針法適用于測試電阻率為10-4Ω·cm到100Ω·cm的硅單晶。

以下是該標準的主要內容:

范圍:該標準規定了使用直排四探針法和直流兩探針法測定硅單晶電阻率的測試方法。
術語和定義:該標準給出了電阻率、硅單晶、直排四探針法、直流兩探針法等術語和定義。
測試原理:該標準分別介紹了直排四探針法和直流兩探針法的測試原理。
測試環境:該標準規定了測試環境的溫度和濕度要求。
干擾因素:該標準分別說明了直排四探針法和直流兩探針法測試時可能受到的干擾因素及其影響。
試劑和材料:該標準規定了測試所需的試劑和材料,包括探針、導線、電阻率測量儀等。
測試步驟:該標準詳細描述了直排四探針法和直流兩探針法的測試步驟,包括樣品的準備、測試環境的控制、探針的連接、電阻率的測量和數據處理等。
測試結果處理:該標準規定了測試結果的處理方法,包括數據的記錄、計算和誤差分析等。
需要注意的是,使用該標準進行測試時,應按照標準規定的操作步驟進行,并使用合適的設備和試劑,以確保測試結果的準確性和可靠性。此外,對于不同類型和規格的硅單晶,應根據實際情況選擇合適的測試方法。